WOL承接集成電路無塵車間 無菌室 電子車間設計裝修

集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上，因此節(jié)能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來的發(fā)展方向。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

*種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為zui主要的凈化設計方案。

隨著集成電路制造技術的不斷升級，主流大廠已經(jīng)進入了納米時代，集成電路制造潔凈廠房的設計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。

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友情提醒：凈化工程沒有統(tǒng)一固定的標準！

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